光刻技术

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投影微立体光刻技术中控制尺寸的方法[0001]技术领域[0002]本发明为控制彼此相对的表面的位置提供了改进方法,例如在10微米公差内建立平行表面。该方法可以精确地控制3d打印技术(例如投影微立体光刻)中的尺寸。尤其是控制打印方向上的尺寸精...

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